(1)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(2)泵腔内无压缩,无排气阀.结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(3)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳.转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(4)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(5)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难.
